O Estágio de Alinhamento XXY, também chamado estágio de alinhamento UVW e estágios XYθ (theta), são projetados para aplicações de alinhamento de alta precisão. Ele se move em um plano XY e gira em torno do centro do plano XY. Os termos tabela de alinhamento, ou estágio de rotação XY são frequentemente usados de forma intercambiável com o estágio XYθ, XY-theta ou estágio UVW.
Disponível em 10 modelos, em três graus de precisão de nível G 2μm, nível B 5μm, nível de P 10μm, respectivamente, esses modelos têm deslocamentos lineares ± 5 mm. Além disso, os estágios XXY podem girar em torno do centro do plano XY até ± 5 graus a ± 2 graus, enquanto o carregamento horizontal varia de 10 a 100 kg.
Aplicação de tecnologia de alinhamento de precisão
Ampla gama de aplicações em micro-máquinas, usinagem de ultra-precisão, nanotecnologia e semicondutores
Uma tecnologia de alinhamento de precisão
Motor e driver, estágio de alinhamento de precisão de alta resolução, câmera CCD e placa de aquisição de imagem, software de algoritmo de processamento de imagem e controle.
Pacto mais importante: Estágio de alinhamento de precisão de alta resolução.
Em seguida , introduziremos as etapas de movimento do estágio de alinhamento UVW / XXY no sistema de alinhamento.
Etapa 1: O robô segura a placa de vidro superior acima do estágio de trabalho para que o alvo da placa de vidro superior esteja localizado dentro do campo de visão do CCD para determinar a posição do alvo.
Etapa 2: O robô segura a placa de vidro inferior e impede que ela seja colocada na plataforma de trabalho, de modo que o alvo da placa de vidro inferior fique dentro do campo de visão do CCD para determinar a posição do alvo.
Etapa 3: De acordo com a diferença de posição relativa entre o alvo da placa de vidro inferior e o alvo da placa de vidro superior, o algoritmo de processamento de imagem é usado para calcular a quantidade de movimento (X, Y, Φ) do estágio UVW / XXY para acionar o motor movimento para fazer a placa de vidro inferior e a placa superior. A placa de vidro é precisamente alinhada.
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Os parâmetros técnicos necessários para Precisão, Ângulo, Carga sugerida, etc.
O Gigager gasta muito esforço no design do estágio de posicionamento relacionado para criar um estágio de alinhamento de alta precisão:
Estágio de Alinhamento de Precisão Série XXY:
Estágio de Alinhamento de Precisão XXY5M-01:
Estágio Motorizado da Eixo X da Série GX:
Estágio Motorizado de Eixo Z de Precisão Z Série GZ
Fase de Elevação da Cunha Z da Série Z da Precisão GTZ:
Estágio motorizado da linha GXY Precision XY Axis:
Estágio motorizado da linha central da precisão XYZ da série de GXYZ:
Fase motorizada da série GTXYZ Precision XYZ Axis Wedge:
